Mit ihrem weltweit kleinsten Mikropräzisionsgetriebe "Micro Harmonic Drive" hat es die Mainzer Micromotion GmbH bis in die aktuelle Ausgabe des Brockhaus geschafft. Unter dem Stichwort Miniaturisierung ist die Abbildung eines der winzigen Zahnradgetriebe zu sehen, auf die sich die Firma spezialisiert hat. Bei seinen Forschungs- und Entwicklungsvorhaben erhielt das Unternehmen Fördermittel aus dem Technologieförderprogramm des rheinland-pfälzischen Wirtschaftsministeriums, das über die ISB abgewickelt wird.
"2004 ist gut gelaufen", sagt Geschäftsführer Dr. Reinhard Degen. Um die verstärkte Nachfrage erfüllen zu können, wird zurzeit der Reinraum in der Produktionsstätte in Mainz-Gonsenheim erweitert. Die 2001 gegründete Firma stellt pro Monat rund 100 Mikrogetriebe her.
"Die Entwicklung von Micromotion zeigt die Bedeutung von Technologieförderung", sagt ISB-Geschäftsführer Hans-Joachim Metternich. Seit 1994 habe die ISB im Rahmen der Einzelbetrieblichen Technologieförderung im Auftrag des Wirtschaftsministeriums des Landes über 300 Forschungs- und Entwicklungsvorhaben in rheinland-pfälzischen Unternehmen mit Zuschüssen von rund 53 Mio. EUR bewilligt. In vielen Fällen konnten dadurch Forschungs- und Entwicklungsprojekte überhaupt erst durchgeführt werden.
Die Mikromotion GmbH hat ein photolithographisches Verfahren entwickelt, mit dem es möglich ist, miniaturisierte, leichte und präzise arbeitende Zahnradgetriebe zu bauen. Mit diesen Getrieben lassen sich Einstellungs- und Positionierungsaufgaben im Maschinenbau, aber auch in der Halbleiter- und Medizintechnik lösen. "Wir könnten mit den Getrieben einen Laser quer über einen Fußballplatz so ausrichten, dass er die Seite einer hochkant stehenden Cent-Münze trifft", erläutert Reinhard Degen.
Neben der hohen Genauigkeit ist die Spielfreiheit des Antriebs ein weiterer Vorteil. "Die Getriebe werden in Halbleiterfertigungsmaschinen eingesetzt, um kleine Teile zu drehen, zu positionieren und auszurichten". Aber auch in der Optik, der Sensorik und bei Messaufgaben sind die Antriebe zu finden. Degen: "Beispielsweise liefern wir Mikroantriebe zur Vermessung von Diamanten".
Zur Herstellung der Getriebe werden die einzelnen Zahnrädchen zunächst in Fotolack übertragen. Dieser wird mit Hilfe von Röntgenstrahlung aus einem Elektronenspeicherring belichtet. Auf diese Weise entstehen Negative der Bauteilstrukturen, die wiederum durch Galvanoverformung in eine eigens entwickelte Metalllegierung übertragen werden. Aus diesen Metallzahnrädern werden schließlich die winzigen Getriebe zusammengesetzt. "Wir sind das einzige Unternehmen, das diese Legierungsabscheidungen vornimmt und können damit unseren Werkstoff selbst erzeugen. Außerdem stellen wir als Einzige mit Hilfe der Fotolacktechnik mechanische Bauteile mit derartig extremen Strukturabmessungen her", beschreibt der promovierte Maschinenbauingenieur Degen.
"Die Micromotion GmbH bestätigt den richtigen Kurs der Technologie- und Innovationspolitik des rheinland-pfälzischen Wirtschaftsministeriums", erklärte Wirtschaftsminister Hans-Artur Bauckhage. Das Unternehmen habe sich aufgrund der günstigen Rahmen- und optimalen Förderbedingungen zur Ansiedlung am Standort Mainz entschieden und mit Hilfe entsprechender Förderprogramme Hightech-Forschung im Bereich der Mikrotechnik betrieben. Wie förderlich diese Unterstützung des Wirtschaftsministeriums gewesen sei, habe sich auch im vergangenen Jahr gezeigt, als das Unternehmen von einer unabhängigen Expertenjury zum Preisträger des Innovationspreises des Landes Rheinland-Pfalz 2003 erwählt wurde, erläuterte der Wirtschaftsminister.
Die Micromotion GmbH ist eine Ausgründung des Instituts für Mikrotechnik Mainz (IMM), einem anwendungsorientierten Forschungsinstitut des Landes Rheinland-Pfalz. Das IMM wurde 1991 im Ressortbereich des MWVLW errichtet und kann bis heute auf 18 Ausgründungen verweisen. Gesellschafter von Micromotion ist der Limburger Getriebehersteller Harmonic Drive.
Das Wirtschaftsministerium hat die Firmengründung über die ISB im Rahmen der Technologieförderung mit einem Zuschuss von rund 45 Prozent der Entwicklungskosten unterstützt. "Diese Förderung durch das Wirtschaftsministerium war sehr hilfreich für uns", betont Degen. Denn die ersten beiden Jahre nach der Gründung sei das Team ausschließlich mit der Produkt- und Prozessentwicklung beschäftigt gewesen. "Erst seit einem Jahr betreiben wir die Produktherstellung in größeren Maßstab". Insgesamt habe das Unternehmen "eine Förderung im sechsstelligen Bereich" erhalten.
Die Unterstützung durch das Land Rheinland-Pfalz habe auch bei der Standortentscheidung eine Rolle gespielt. "Ursprünglich wollten wir uns in Hessen bei Harmonic Drive ansiedeln, doch die Fördermöglichkeiten des Wirtschaftsministeriums über die ISB waren Anreiz für uns, nach Rheinland-Pfalz zu gehen."
Gegründet von den beiden Geschäftsführern Dr. Reinhard Degen (Technik) und Dr. Rolf Slatter (Vertrieb), beschäftigt die Micromotion GmbH heute neun Mitarbeiter, darunter fünf Ingenieure. Gesellschafter sind neben den beiden Gründern die Interglobal Holding sowie Harmonic Drive. 2001 und 2003 wurde die Micromotion GmbH mit dem Innovationspreis Rheinland-Pfalz ausgezeichnet.
Weitere Informationen:
>> Einzelbetriebliche Technologieförderung der ISB
>> Homepage der Micromotion GmbH Mainz